表面評定參數

Ra、Rz、Rmax/Rt、Rq、R3z、Rsm。可依據DIN 4777及ISO 4287或日本標準JIS B601切換。可依據DIN 4776/ISO 13565（DIN EN ISO 13565）的參數顯示材料比率曲線（Mr1、Mr2、Rpk、Rpk*、Rvk、Rvk*）

截斷值

瀕腸（塵塵）0.25、0.8、2.5

移動行程

瀕遲（塵塵）1.5、4.8、15.0

單個的截斷長度值

可選1詞5個截斷長度

驅動器移動速度憊遲

憊遲（塵塵/蟬）0.15、0.5、1.0

測量范圍

1+20/-20μm / 10nm

+20/-60μm / 20nm

2+40/-40μm / 20nm

+40/-120μm / 40nm

DIN 4772，1級

顯示值

0.01μm

接口

V24（RS 232）連接線

電源供應

9.6癡充電電池及外接充電器